型号
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YP1731 设备名称晶圆AOI
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类型
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晶圆脏物检测
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外形尺寸
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800*950*1400mm (WxDxH)
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晶圆台面高 度
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850mm
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适应九游·产品规
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格 8寸 (小尺寸需改承载台部分)
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定位精度
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±0.03mm (X,Y)
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定位精度
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±0.05mm (Z)
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重复精度
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±0.02mm (X,Y)
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视觉系统
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500万像素黑白CCD, 远心镜头, 点光源
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最小缺陷尺
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寸 3um
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工控系统
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自主研发动作软件
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工厂要求
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电压: 220V, 50Hz 真空: 80-99Kpa
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设备功率
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900W
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